镀层厚度测量已成为加工工业、表面工程质量检测的重要环节，是产品达到质量标准的必要手段。对镀层厚度有了明确要求。
随着技术的日益进步，特别是近年来引入微机技术后，采用X射线镀层测厚仪 向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米，精度可达到1%，有了大幅度的提高。它适用范围广，量程宽、操作简便且价低，是工业和科研使用广泛的测厚仪器。
镀层测厚仪是将X射线照射在样品上，通过从样品上反射出来的第二次X射线的强度来。测量镀层等金属薄膜的厚度，因为没有接触到样品且照射在样品上的X射线只有45-75W左右，所以不会对样品造成损坏。同时，测量的也可以在10秒到几分钟内完成。
测量方法
镀层厚度的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，X射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等等。这些方法中前五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。
X射线和β射线法是无接触无损测量，测量范围较小，X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
原理：
1、原理：X射线照射样品，经过镀层界面，射线返回的信号发生突变，根据理论上同材质无限厚样品反馈回强度的关系推断镀层的厚度。理论上两层中含有同一元素测试很困难（信号分不开）。
2、XRF镀层测厚仪：
俗称X射线荧光测厚仪、镀层测厚仪、膜厚仪、膜厚测试仪、金镍厚测试仪、电镀膜厚仪等。
功能：精密测量金属电镀层的厚度。
应用范围：测量镀层,涂层,薄膜,液体的厚度或组成,测量范围从22(Ti)到92(U)。
