X射线管发出X射线照射样品，样品中所含的原子则向外发射原子*的X射线。这种X射线被称为荧光X射线，各元素具有特定的波长（能量）。因此送ü觳釾射线的波长就能够进行定性分析。另外，荧光X射线的强度与浓度具有函数关系，检测每个元素X射线特征波长的X射线量就能进行定量分析。
X射线荧光光谱仪能够对多种材料进行元素分析，包括固体、液体和疏松粉末。X射线荧光光谱仪专为满足要求严苛的流程控制和研发应用需求而设计，其高品质的设计和创新功能居于市场优势地位，可对从铍到镅等多种元素进行精度范围从百万分之一以下到百分之一的分析。
X射线荧光光谱仪有多种，以能量色散和波长色散为主。
1．能量色散荧光光谱仪
能量色散型仪器的优点是不破坏被测的材料或产品，也不需要专业人员操作，缺点是对铬和溴是总量测定（一般不影响使用，因为很多情况可以判定，如测铬总量超标，?？芍遣皇橇鄹醭?，特别是溴，如被作为阻燃剂加入，不管是那种溴，总量超标就不合格）。
2．波长色散荧光光谱仪
此种仪器的灵敏度比能量色散的高一个数量级，也就是说，所测的数据并不存在“灰色地域”，不存在测定后还需拿到检测机构复检。但仪器的价格比能量色散的贵很多，特别是进口的都在百万元以上，所以没有外国公司建议用。仪器操作和能量色散一样，不需要专业人员。
波长型优点是用在原材料厂上，其测定的数据准确，给生产厂以确信的合格材料。
缺点是，波长法需将被测材料粉碎压制成样本后测才准确。所以，用在材料厂适合。如不制成样本（非破坏），会因材料表面形状不同而产生不同误差。
3．能量色散和波长色散原理上的区别：
能量色散法是将X射线激发被测所有元素的荧光简单过滤后，全部进到检测器中，利用仪器和软件来分出其中的光谱。如测的为元素周期表中相邻的两个元素，会因光谱重叠而产生测量误差。硬件决定了之后，仪器水平的高低，往往就在这里。
波长法是因其激发出的荧光足够强，进到仪器中用来分析的光谱是单一元素（“过滤”了不需测的元素），不含其它元素的光谱，所以测量数据很准确。
